CP系列化学机械抛光机_压力盘中心驱动型 (CD型)压力盘中心导轮驱动型CP系列化学机械抛光机是在基本型设备的基础上增加了压力盘中心驱动导轮，设备的压力盘共用一个中心驱动导轮；该结构可以消除同一台设备上压力盘部件特性差异和抛光摩擦力差异而导致的压力盘转速差异，可以更好的保证设备上不同工位抛光结果的一致性；同时,导轮转速可调，从而可以根据工艺需要调节压力盘的转速，抛光工艺灵活性更大。
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