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CP910B

CP系列化学机械抛光机_基本型 (Basic 型)
CP
系列基本型化学机械抛光机可满足大部分场合的化学机械抛光加工应用,设备采用迷宫式单通路抛光盘冷却结构,有效确保抛光加工过程中散热的均匀性及盘型的维持,从而从硬件上为加工精度提供了保证。设备采用致领自制的大规格低摩擦力气缸,既能保证加工强度同时也能保证工艺精度。



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